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化合物半導體SiC、GaN晶圓檢查裝置

簡要描述:LODAS™ – CI8是列真株式會社推出的一款化合物半導體SiC、GaN晶圓檢查裝置。

  • 產品型號:CI8
  • 廠商性質:代理商
  • 產品資料:
  • 更新時間:2024-03-19
  • 訪  問  量: 853

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詳細介紹

列真株式會社自創業以來,秉承“挑戰"、“創造"、“誠實"的經營理念,為顧客提供可靠、可信的產品和服務。運用激光掃描技術,專門制造、銷售半導體材料表面及內部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。其激光檢測技術可同時收集激光的反射光,透射光以及共聚焦,可一次性檢查第三代半導體SIC等材料表面,背面和內部的缺陷,可探測最小缺陷為100納米,主要用于半導體光罩、LCD大型光罩的石英玻璃表面、內部、背面的缺陷檢查

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特征:

  • SiC單晶晶圓和EPI晶圓都可以檢查。

  • 不僅是表面缺陷,內部缺陷和背面缺陷也同時檢查。

  • 有助于缺陷分析的4種Review圖像。

  • “AI Classify"進行缺陷分類、好壞判定。

  • 免維護。

  • 世界FIRST用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。

  • 能檢出至今為止檢查不出的缺陷。


規格:

  • 檢查激光:405nm 200mW

  • 檢查時間:200sec(尺寸:4英寸)

  • 檢查對象:2英寸、3英寸、4英寸、6英寸

  • 設備尺寸:WxDxH=450x500x730mm

  • 使用電源:AC100V~200V 10A


應用:

SiC、GaN

半導體光罩(石英玻璃與涂層)

石英Wafer   Si Wafer

HDD Disk LT Wafer

藍寶石襯底

EUV光罩

光罩防塵膜



可全面檢測表面、內部、背面的缺陷。

檢出缺陷:顆粒、劃痕、結晶缺陷。

外延缺陷                         襯底缺陷      

胡蘿卜型缺陷                  六方空洞缺陷

慧星缺陷                         層錯缺陷

三角缺陷                         微管缺陷

邊緣缺陷

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